Настольная диффузионная печь, для применения в научно-исследовательских лабораториях
Цена договорная
- Страна происхождения
- Чехия
- Минимальное количество заказа
- 1 шт.
Описание продукта
- Размер пластин
- 2″ — 6″ (50 мм — 150 мм)
- Размер загрузки
- до 25 пластин в загрузке
- Нагреватель
- 1 или 3 зоны, провод из материала Kanthal® APM/A1
- Рабочая зона
- 12″ (300 мм)
- Температура процесса
- 200 oC — 1300 oC, ± 0.5 oC по длине зоны
- Энергопотребление
- 20 кВА
- Источник питания
- Трехфазный, 400 или 480VAC, 50 A, 50 или 60 Гц
Настольная диффузионная печь SVCS создана для применения в научно-исследовательских лабораториях и опытном производстве, сохраняя при этом характерный для полупроводниковой промышленности уровень качества. Система может быть использована для целого ряда различных процессов, благодаря широкой универсальности и количеству доступных опций.
Процессы
Диффузия из твердых, жидких и газообразных источников
Сухое или влажное окисление + Trans-LC
Отжиг (в форминг-газе или азоте)
Спекание
Сушка и термообработка полиимидов
APCVD, LPCVD, MOCVD
Нитрид кремния
Поликремний, аморфный кремний
TEOS, HTO, LTO
Графен, УНТ, нанопроводники
* Информация о технических характеристиках, комплекте поставки, стране изготовления и внешнем виде товара носит справочный характер и основывается на последних доступных сведениях от производителя / поставщика