AI-перевод | оригинал: EN

Горизонтальные и вертикальные диффузионные кассеты

Диффузионные кассеты Fibrothal®, доступные в легких и тяжелых вариантах, могут быть ориентированы горизонтально или вертикально в зависимости от их применения. Выбор между горизонтальными и вертикальными печами зависит от различных факторов, включая конкретные процессы производства полупроводников и задачи производственного предприятия. На выбор могут влиять такие параметры, как размер пластин, требования к процессу и общий производственный процесс. На практике в производстве полупроводников используются как горизонтальные, так и вертикальные печи, а выбор зависит от конкретных потребностей и ограничений производственного процесса. Каждая ориентация имеет свои области применения, и производители могут использовать комбинацию обоих типов печей на своих предприятиях.